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MEMS系统主要由（ ）部件组成。A． 微传感器、微执行器、通信接口和电源B． 微传感器、微执行器、信号处理和控制电路、通信接口和电源C． 微传感器、微执行器、信号处理和控制电路、通信接口和电源、存储D． 微传感器、微执行器、信号处理和控制电路、通信接口和电源、操作系统和应用程序
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